Browsing by Author Dương, Đức Anh
Showing results [1 - 1] / 1
CuOx là một vật liệu bán dẫn loại p nhiều tiềm năng đã được nghiên cứu và ứng dụng trong một số lĩnh vực như trong tế bào quang điện, transistor màng mỏng, cảm biến khí hay siêu tụ… Trong khi đó, công nghệ lắng đọng đơn lớp nguyên tử ở áp suất khí quyển là một trong những công nghệ tiên tiến nhất hiện nay, cho phép chế tạo màng mỏng ở mức nano và có thể kiểm soát được thông qua các điều kiện chế tạo như nhiệt độ, nồng độ hóa hơi các chất khí hay bản chất bề mặt đế lên tính chất vật lý, hóa học… Trong đồ án này, chúng tôi đã nghiên cứu và tối ưu quy trình SALD. Bằng công nghệ này, lần đầu tiên tiền chất Cu(II) acetylacetonate được sử dụng để chế tạo màng CuOx, trong đó việc kiểm soát p... |
