Thông tin tài liệu


Nhan đề : 
One More Evidence Supporting Damage Growth Inside Silicon MEMS Structures from Comparison of Strength Affected by Cyclic Compressive Stress
Tác giả : 
Vu Le Huy
Shoji Kamiya
Năm xuất bản : 
2021
Nhà xuất bản : 
Lecture Notes in Mechanical Engineering
Tóm tắt : 
Recently, dislocation in single-crystal silicon has been confirmed to be induced by fatigue. It was found that the fatigue lifetime of silicon is likely to be dominated by accumulation of crystal defects, i.e., dislocations. In previous studies, crystal d
URI: 
https://link.springer.com/chapter/10.1007/978-3-030-69610-8_110
https://dlib.phenikaa-uni.edu.vn/handle/PNK/2734
Bộ sưu tập
Bài báo khoa học
XEM MÔ TẢ

13

XEM TOÀN VĂN

0

Danh sách tệp tin đính kèm:

Hiện tại không có tệp tin đính kèm tới tài liệu.